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除塵單元處理寬度
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600mm
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除塵單元尺寸
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712*112*183mm（長*寬*高）
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除塵單元重量
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49KG
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除塵單元可調(diào)節(jié)高度
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0-35mm
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常用處理高度
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5mm以內(nèi)，1.5mm最佳
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使用溫度范圍
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-25度~+50度
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除塵頭管徑
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Φ42
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貯存環(huán)境溫度
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-10度~+55度
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相對濕度
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<93%（不結(jié)露）
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如今，潔凈技術(shù)已廣泛應(yīng)用于生產(chǎn)各行各業(yè)的產(chǎn)品或其他需要防止顆粒污染和微生物污染的環(huán)境控制。比如生產(chǎn)手機(jī)電子元件的無塵車間，空氣凈化的主要目的是去除空氣中懸浮的塵粒，創(chuàng)造清潔的工作環(huán)境，保證產(chǎn)品的高質(zhì)量、高精度、高純度和高產(chǎn)量。
在電子產(chǎn)品領(lǐng)域，電子元器件從電子管到半導(dǎo)體分離器件到集成電路，僅集成電路的線寬就從幾微米增長到大約0.1微米，比如生產(chǎn)上的貼片、曝光、蝕刻、檢查等制程前段，因此需要一個小型化、精密化的生產(chǎn)環(huán)境。
在除塵之前先由靜電消除裝置除去表面靜電，然后經(jīng)由特殊設(shè)計(jì)的除塵單元打破了灰塵和材料的邊界層，由除塵單元產(chǎn)生超聲波氣流振動,材料表面粉塵產(chǎn)生松動后被除塵單元真空吸力吸走，從而達(dá)到除塵的作用。
非接觸式除塵裝置特性和優(yōu)點(diǎn)及工作原理：
1、非接觸式結(jié)構(gòu)避免材料損傷。超聲波可打破空氣粘滯層，徹底清除極小顆粒（1.6um以上）的灰塵。
2、從除塵單元吹出的氣流得到充分的應(yīng)用，控制了整個氣流和真空，從而保證了持續(xù)的清除性能不受材料厚度的影響。
3、高效的氣流控制，一些低壓氣流也能得到應(yīng)用，減小了損耗。
4、非接觸式的清洗方式使被清洗的工件免被劃傷或損壞。
5、閉環(huán)系統(tǒng)不會破壞生產(chǎn)車間（潔凈室）的氣流平衡。
6、不需要高額的消耗品，如高純水或化學(xué)藥劑等，同時不需要后續(xù)的烘干，降低了生產(chǎn)成本并縮短了生產(chǎn)線長度。